プッシュロックタイプの小形真空レギュレータです。
片手で簡単に圧力調整ができ、作業性がアップしています。(「ワンプッシュロック」)
小形真空ポンプの元圧制御に適します。真空弁と吸着パッドの間に入れ個々のパッドの圧力制御も可能です。
パッド径Φ150、200mmのホルダに直に取付け圧力制御できます。
質量最大50%ダウンし、装置の軽量化に貢献します。(メーカー従来品(エルボタイプ)比)
流路部にSUS・アルミ合金を使用し、銅系材料制限しました。銅イオンを嫌う二次電池製造工程に最適です。
弁部・ダイヤフラム部には特殊ニトリルゴムを採用しました。耐オゾン材料を標準使用しています。
