※サンプル画像(詳細は各品番の仕様をご確認ください)
・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ セス装置に実績多数。 ・各種安全規格に対応。 ・UL, SEMI規格適合、CEマーキング。