XY直交度(mm)0.06ストローク(X距離)(mm)±150ストローク(Y距離)(mm)±150種類xyステージテーブル長さ(mm)200テーブル幅(mm)200耐荷重(N)392送り方式送りねじ移動ガイドボールウェイ質量(kg)21分解能0.002mm付属品モーターケーブル3m、ドライバARD-A仕様(送りねじ)ボールねじ表面処理(テーブル)白アルマイト梨地繰返し精度(mm)±0.002センサー原点センサ/ノーマルオープン接点(メイク接点、A接点)動作、フォトセンサ(bar)原点前・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサRoHS指令(10物質対応)対応移動方向XY軸2方向移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.03モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性：0.4、ピッチ剛性：0.4、ロール剛性：0.4使用モータAR46BA送りねじリード(mm)2位置決め精度(mm)0.1ロストモーション(mm)0.002最高速度(mm/s)60(30000pps時)材質(テーブル)アルミ合金
