供給弁・破壊弁の組合わせ(K) 供給弁(N.C.) ・破壊弁(N.C.)
真空(V)ポートΦ6
圧力センサ/真空用圧力スイッチ仕様なし
供給弁/破壊弁/真空用圧力スイッチコネクタ仕様供給弁・破壊弁用コネクタ:L型プラグコネクタコネクタ付リード線付；圧力スイッチ・センサ用コネクタ付リード線なし
オプションa：オプションなし、b：破壊流量調整ニードルロックナット丸型タイプ+ドライバ操作型、c：オプションなし
定格電圧(V)(5) DC24
システム・ボディ形式(Q) 真空ポンプシステム/マニホールド用
