- 用途
- 計測・検査・評価装置用の位置決めに適した自動ステージです。
- 仕様
- (MIXスピード)30°sec、リミットセンサ:有(NORMAL CLOSE)、接原点センサ:無、同心度:30μm
- 材質
- (ステージ)アルミ・アルミニウム青銅
- 質量(kg)
- 2.5
- 種類
- 回転ステージ
- テーブル径(Φmm)
- 160
- 分解能
- 0.005°/パルス(Full)・0.0025°/パルス(Half)
- 平行度(μm)
- 60
- 耐荷重(N)
- 196
- RoHS指令(10物質対応)
- 対応
- 送り方式
- ウォームギヤ
- 移動ガイド
- クロスローラ
- モーメント剛性(sec/N・cm)
- 0.1
- 面振れ(mm)
- 0.02
- 移動量(°)
- 反時計周りCCW方向は∞・時計周りCW方向は0度付近(-2.5)で停止
- 位置決め精度(°)
- 0.1/(繰り返し)0.02
- ロストモーション(°)
- 0.05
- バックラッシ(°)
- 0.08
- 原点センサ
- 無