真空コントローラー

密閉容器(チャンバー)と真空ポンプの間にインライン接続することで、容器の圧力を一定の値に制御します。油回転ポンプ等、連続運転に適したポンプを使用する場合には電磁バルブ制御、オイルバックの心配のないドライポンプ等を使用する際には電源制御の2つの方式(切替え)で使用できます。電源制御の場合は設定値に到達後はポンプ電源をOFFするため、節電にもなります。長時間の圧力制御に便利です。