用途機器組込み用に
半導体関連ガス機器に
バイオ産業向けに
適合流体Airガスの種類Air流量レンジ(L/min)0.01～0.1最大流量(L/min)0.1接続口径(Rc)1/4最高使用温度(℃)60材質(本体)真鍮材質(Oリング)NBR材質(接液部)真鍮、硬質ガラス、NBR、POM、SUS316、(PTFE)材質(フロート)パイレックス精度(%)±2F.S.精度±2%F.S.バルブ有り最小流量(L/min)0.01材質真鍮(ブロック)全長(mm)120寸法A(mm)80目盛10：1(有効)寸法D(mm)100寸法E(mm)29寸法B(mm)86寸法C(mm)120耐圧(MPa)1(G)供給圧力(MPa)0.1出口圧力(MPa)0ニードル位置下部目盛刻み(L/min)0.005
