用途機器組込み用に
半導体関連ガス機器に
バイオ産業向けに
ガスの種類N2流量レンジ(L/min)0.1~1材質(本体)真鍮寸法A(mm)80寸法D(mm)100材質真鍮(ブロック)全長(mm)120最大流量(L/min)1接続口径(Rc)1/4目盛10:1(有効)精度±2%F.S.寸法E(mm)29寸法B(mm)86寸法C(mm)120耐圧(MPa)0.7(G)精度(%)±2F.S.最高使用温度(℃)60材質(Oリング)NBR適合流体N2材質(接液部)真鍮、硬質ガラス、NBR、POM、SUS316、(PTFE)バルブ有り材質(フロート)パイレックス供給圧力(MPa)0.1出口圧力(MPa)0ニードル位置下部目盛刻み(L/min)0.05最小流量(L/min)0.1