検出距離(mm)E3X-ZV/GIGA:3220、HS:1200、ST:1780、SHS:500
E3NX-FA/GIGA:4000、HS:1800、ST:2670、SHS:500
種別ウエハマッピング用種類ファイバユニットタイプビーム強化/狭視界検出方式透過形センサー-ヘッド形状円仕様フリーカット可能長さ(mm)-形状厚み3mm幅(mm)-サイズ-質量(g)40(梱包状態)保護構造IP50シリーズE32ケーブル長(m)2使用温度(℃)-40~70方向(検出)サイドビュー標準検出物体(mm)-材質(ヘッド)SUS303引張強度(N)9.8最小検出物体Φ0.1/Φ0.03mm許容曲げ半径(mm)R1(柔軟ファイバ)材質(ファイバ)-曲げ半径(mm)折れにくいR1(柔軟ファイバ)動作温度(℃)-特性-光ファイバ-材質(コア)プラスチック締め付け強度(N・m)0.29開口角(°)1.5検出幅(mm)-光軸径(Φmm)2ターミナルタイプ-被覆材ポリエチレン使用周囲湿度(%RH)-