ストローク(X距離)(mm)±6.5種類Xステージテーブル長さ(mm)50テーブル幅(mm)50耐荷重(N)147送り方式CMH-13RM(標準マイクロメータ)移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)感度0.003mmクランプ操作側板クランプ操作位置サイド質量(kg)0.3平行度(mm)0.015、運動の平行度：0.007目量マイクロメータ式0.01mm材質/処理(テーブル)ステンレス/黒色酸化クロムRoHS指令(10物質対応)対応移動方向X軸1方向移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.001、ヨーイング15sec、ピッチング25secモーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性：0.04、ピッチ剛性：0.04、ロール剛性：0.02許容モーメント荷重(N・cm)ヨー：800、ピッチ：800、ロール：800移動量(ツマミ1回転)0.5mm
