ストローク(Z距離)(mm)0〜10
種類Zステージ
テーブル長さ(mm)70
テーブル幅(mm)70
耐荷重(N)29.3
送り方式CMH-13RM(標準マイクロメータ)
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
質量(kg)0.4
感度0.003mm
クランプ板クランプ
平行度(mm)0.1
目量マイクロメータ式0.01mm
材質(ベース)アルミ合金/黒アルマイト梨地
材質/処理(テーブル)ステンレス/黒色酸化クロム
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向Z軸1方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.005
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性 1.0、ピッチ剛性 2.5、ロール剛性 0.4
許容モーメント荷重(N・cm)ヨー：150、ピッチ：100、ロール：160
垂直度(mm)0.01
移動量(ツマミ1回転)0.5mm
