気体用マスフローメータ CMSシリーズは、検出部に独自開発の熱式流速センサである「μFセンサ(マイクロフローセンサ)」を使用した、質量流量計です。 マイクロマシニング技術を駆使して製作される超微細な流速センサと高度な流路設計技術の融合により、従来にない高精度、ワイドレンジアビリティを低価格で実現しました。 また、使いやすさと高い信頼性を兼ね備えたこれからの流量計です。