小型軽量・低振動・低ノイズタイプです。 小型のガスモニター・大気観測・脱気用真空ポンプ・医療機器への組み込み・燃料電池・ターボ分子ポンプの粗引き・質量分析・SEM・ヘリウムディテクターなどに使用できます。
