用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
流体Air材質(シール)FKM最大流量10SCCM使用圧力(MPa)0.0~0.5(G)バルブの有無なし精度FS±2%以内@25℃耐圧(MPa)1.0(G)接続RC1/4センサー熱式センサー所要電力DC24V±5% 100mA温度係数FS±0.2%/℃(15~35℃)許容周囲温度(℃)0~50材質(ボディ)接ガス部:SUS303、PTFE出力信号4-20mA許容湿度(%)30~80(結露なきこと)校正温度(℃)0イベント出力NPNオープンコレクタ出力2段 最大定格DC30V 50mA