質量(kg)7.6材質(本体)アルミ合金種類xyステージモーターC087Q-9215P(オリエンタルモーター神津精機専用型式：定格電流0.75A/相、基本ステップ角0.72°，リード線5本)分解能(フル/ハーフステップ)4μm/2μm、(マイクロステップ≦1/20分割>)0.2μm耐荷重(N)(水平)156.8RoHS指令(10物質対応)対応送り方式ボールねじ・リード2mm移動ガイドリニアガイドテーブル幅(mm)100テーブル長さ(mm)100ストローク(X距離)(mm)±50ストローク(Y距離)(mm)±50モーメント荷重(arcsec/N・cm)0.1
