質量(kg)0.23
材質(本体)アルミ合金
種類Zステージ
モーターPK513PB(オリエンタルモーター：定格電流0.35A/相、基本ステップ角0.72°、リード線5本)
分解能(フル/ハーフステップ)0.5μm/0.25μm、(マイクロステップ≦1/20分割>)0.025μm
耐荷重(N)(水平)24.5
RoHS指令(10物質対応)対応
送り方式1/2-クサビ・研削ねじ・リード0.5mm
移動ガイドクロスローラ
テーブル幅(mm)40
テーブル長さ(mm)40
ストローク(Z距離)(mm)±2.5
