質量(kg)0.45
材質(本体)アルミ合金
種類Zステージ
モーターTS3664N16E2(多摩川精機：定格電流0.75A/相、基本ステップ角0.72°、リード線5本)
分解能(フル/ハーフステップ)0.5μm/0.25μm、(マイクロステップ≦1/20分割>)0.025μm
耐荷重(N)(水平)39.2
RoHS指令(10物質対応)対応
送り方式1/4-クサビ・ボールねじ・リード1mm
移動ガイドクロスローラ
テーブル幅(mm)50
テーブル長さ(mm)50
ストローク(Z距離)(mm)±1.5
