ストローク(Z距離)(mm)±1.5
種類Zステージ
テーブル長さ(mm)50
テーブル幅(mm)50
耐荷重(N)(水平)39.2
送り方式1/4-クサビ・ボールねじ・リード1mm
移動ガイドクロスローラ
質量(kg)0.45
材質(本体)アルミ合金
モーター5相ステッピングモータ(多摩川精機：TS3664N16E2)定格電流0.75A/相，基本ステップ角0.72°
分解能(フル/ハーフステップ)0.5μm/0.25μm、(マイクロステップ≦1/20分割>)0.025μm
仕上白色
コネクタ丸形20ピン (ヒロセ： RP13A-12JG-20PC)
繰返し精密度(μm)≦±0.5
最大速度(mm/sec)2.5
結線RG-5C
ロストモーション(mm)≦0.03
垂直度(μm)≦5/3mm
