ストローク(Z距離)(mm)±1.5種類Zステージテーブル長さ(mm)50テーブル幅(mm)50耐荷重(N)(水平)39.2送り方式1/4-クサビ・ボールねじ・リード1mm移動ガイドクロスローラ質量(kg)0.45材質(本体)アルミ合金モーター5相ステッピングモータ(多摩川精機：TS3664N16E2)定格電流0.75A/相，基本ステップ角0.72°分解能(フル/ハーフステップ)0.5μm/0.25μm、(マイクロステップ≦1/20分割>)0.025μm仕上白色コネクタ丸形20ピン (ヒロセ： RP13A-12JG-20PC)繰返し精密度(μm)≦±0.5最大速度(mm/sec)2.5結線RG-5Cロストモーション(mm)≦0.03垂直度(μm)≦5/3mm
