ストローク(Z距離)(mm)±10種類Zステージテーブル長さ(mm)70テーブル幅(mm)70耐荷重(N)(水平)117.6送り方式1/2-ベルト・研削ねじ・リード0.5mm移動ガイド四面フラットローラガイド質量(kg)1.8材質(本体)アルミ合金モーター5相ステッピングモータ/PK543-B(オリエンタルモーター：定格電流0.75A/相，基本ステップ角0.72°，リード線10本)分解能(フル/ハーフステップ)0.5μm/0.25μm、(マイクロステップ≦1/20分割>)0.025μm仕上白色センサー型式F-106(HOME，LIMIT)コネクタ丸形20ピン( ヒロセ： RP13A-12JG-20PC)繰返し精密度(μm)≦±0.5最大速度(mm/sec)2.5結線X2ロストモーション(mm)≦0.02垂直度(μm)≦6/20mm
