ストローク(Z距離)(mm)±7種類Zステージテーブル長さ(mm)100テーブル幅(mm)100耐荷重(N)(水平)98送り方式1/2-クサビ・ボールねじ・リード1mm移動ガイド四面フラットローラガイド質量(kg)3.25材質(本体)アルミ合金モーター5相ステッピングモータ/PK544PMB(オリエンタルモーター：定格電流0.75A/相，基本ステップ角0.36°，リード線5本)分解能(フル/ハーフステップ)0.5μm/0.25μm、(マイクロステップ≦1/20分割>)0.025μm仕上白色センサー型式F-115R(HOME，LIMIT)コネクタ角形20ピン(ヒロセ： PC-1620， P-1620A-STA)繰返し精密度(μm)≦±0.5最大速度(mm/sec)2.5結線V3ロストモーション(mm)≦0.01垂直度(μm)≦5/14mm
