ストローク(Z距離)(mm)±2.5種類Zステージテーブル長さ(mm)100テーブル幅(mm)100耐荷重(N)(水平)68.6送り方式1/4-クサビ・ボールねじ・リード1mm移動ガイド四面フラットローラガイド質量(kg)2.05材質(本体)アルミ合金モーター5相ステッピングモータ/PK544PMB(オリエンタルモーター：定格電流0.75A/相，基本ステップ角0.36°，リード線5本)分解能(フル/ハーフステップ)0.25μm/0.125μm、(マイクロステップ≦1/20分割>)0.0125μm仕上白色センサー型式F-116(HOME，LIMIT)コネクタ丸形20ピン(ヒロセ： RP13A-12RA-20PC)繰返し精密度(μm)≦±0.5最大速度(mm/sec)1.25結線V3ロストモーション(mm)≦0.003垂直度(μm)≦4/5mm
