ストローク(Z距離)(mm)±2.5
種類Zステージ
テーブル長さ(mm)100
テーブル幅(mm)100
耐荷重(N)(水平)68.6
送り方式1/4-クサビ・ボールねじ・リード1mm
移動ガイド四面フラットローラガイド
質量(kg)2.05
材質(本体)アルミ合金
モーター5相ステッピングモータ/PK544PMB(オリエンタルモーター：定格電流0.75A/相，基本ステップ角0.36°，リード線5本)
分解能(フル/ハーフステップ)0.25μm/0.125μm、(マイクロステップ≦1/20分割>)0.0125μm
仕上白色
センサー型式F-116(HOME，LIMIT)
コネクタ丸形20ピン(ヒロセ： RP13A-12RA-20PC)
繰返し精密度(μm)≦±0.5
最大速度(mm/sec)1.25
結線V3
ロストモーション(mm)≦0.003
垂直度(μm)≦4/5mm
