ストローク(Z距離)(mm)±15種類Zステージテーブル長さ(mm)100テーブル幅(mm)100耐荷重(N)(水平)294送り方式1/40-ウォーム・ボールねじ・リード4mm移動ガイド四面フラットローラガイド質量(kg)4.3材質(本体)アルミ合金モーター5相ステッピングモータ(オリエンタルモーター：PK525HPMB)定格電流0.75A/相，基本ステップ角0.36°分解能(フル/ハーフステップ)0.1μm/0.05μm、(マイクロステップ≦1/20分割>)0.005μm仕上白色コネクタ丸形20ピン(ヒロセ： RP13A-12RA-20PC)繰返し精密度(μm)≦±0.5最大速度(mm/sec)0.5結線JM-5C 原点復帰の際に領域(データム)センサを利用しています。CW側常時遮光。ロストモーション(mm)≦0.02垂直度(μm)≦8/30mm
