ストローク(Z距離)(mm)±12.5種類Zステージテーブル長さ(mm)100テーブル幅(mm)100耐荷重(N)(水平)98送り方式研削ねじ・リード0.5mm移動ガイドクロスローラ質量(kg)4.15材質(本体)鉄モーター5相ステッピングモータ/PK544PMB(オリエンタルモーター：定格電流0.75A/相，基本ステップ角0.36°，リード線5本)分解能(フル/ハーフステップ)0.5μm/0.25μm、(マイクロステップ≦1/20分割>)0.025μm仕上ニッケルメッキセンサー型式F-101(HOME，LIMIT)コネクタ角形20ピン(ヒロセ： PC-1620， P-1620A-STA)繰返し精密度(μm)≦±0.3最大速度(mm/sec)2.5結線V3ロストモーション(mm)≦0.02垂直度(μm)≦10/25mm
