フィルタユニット[装置用・薄型汎用フィルタユニット]

ファンフィルタユニットとはファンとフィルタ(HEPAフィルタ)をセットにパッケージし、フィルターを通した清浄空気を供給する製品です。
半導体製造装置、搬送装置、保管庫、簡易型クリーンルーム(クリーンブース)用途。
機外静圧 98Pa対応を実現。
消費電力低減。
電源は、単相AC100V/200V共用。
無段変速調整。
海外規格対応設計：CEマーキング対応
ファン、モータは省エネを目的としたFFU専用品を開発・採用しております。
FFU製品だけでなく、モータ、パワーサプライ等重要部品についてもトレーサビリティを管理しております。