高純度酸素ガス発生装置内蔵型小型オゾンガス発生装置です。 MPZ Seriesは、PSA方式により、空気中から酸素ガスを濃縮し、オゾンガスの原料としていますので、NOxガス(有毒)の発生を大幅に低減しています。