オプションa：オプションなし、b：破壊流量調整ニードルロックナット丸型タイプ、c：排気干渉防止弁付
定格電圧(V)DC24
ノズル口径(Φmm)1.0
供給弁・破壊弁の組合わせ供給弁:N.C.；破壊弁:N.C.
システム・ボディ形式マニホールド複合排気
真空(V)ポートΦ6
圧力センサ/真空用圧力スイッチ仕様真空用デジタル圧力スイッチ；圧力範囲0〜-101；NPN2出力SI単位固定
供給弁/破壊弁/真空用圧力スイッチコネクタ仕様供給弁・破壊弁用コネクタ:L型プラグコネクタコネクタ付リード線付；圧力スイッチ・センサ用コネクタ付リード線付
