SHPシリーズは、超高静圧・中風量の集塵機です。基板分割や付着粉塵除去のように、高静圧での吸引が求められる工程に適した集塵機です。設置面積を抑えた設計で、省スペース化に貢献します。
1次フィルタ：導電性フィルタを標準搭載しており、静電気の発生を抑えます。捕集効率 5u 99.9%以上。粉塵が袋にたまるので、簡単にフィルタ交換が可能です。
着脱フランジ：排気口フランジのサイズがワンタッチ交換で変更可能です。※排気フランジの口径は、吸込フランジの口径以上で設定してください。
排気フィルタ：HEPAフィルタを搭載しており、クリーンルーム内でご使用いただけます。(対応クリーンクラス1000 ※工場出荷時検査値)
2次フィルタ：電気部品を粉塵から保護します。
ダストパン：回収した粉塵を、簡単に引き出して捨てることができます。
