洗浄：除塵洗浄(パーティクル除去)、フッ素系堆積物の除去 乾燥：炭化水素系洗浄剤のリンス、水切り乾燥 溶剤：樹脂・オイルの希釈、分散媒、抽出用の溶剤、引火点調整用媒体 熱媒体：半導体製造装置、化学プラント、環境試験室、電子機器、データセンター、恒温 槽、排熱回収 信頼性試験：電子部品・電子機器の信頼性試験(気密性試験、熱衝撃試験、耐電圧試験な ど)の媒体
