材質本体：SUS316、ダイアフラム：NBR、弁材：PCTFE、その他：SUS316、SUS304質量(kg)2使用圧力(MPa)二次側：0.2～0.99使用温度(℃)ー10～+40(設計温度：ー10～+75)接続入口：W22-14山(右)袋ナット(P)、出口：Rc1/4フィルター粗さ：200メッシュ使用ガスO2、N2、Ar、Air、He、H2標準流量(m3/h)O2， N2，Ar，Air:45 H2，He: 90(P2=0.6MPa)一次側圧力計(MPa)25一次側圧力(MPa)2～15二次側圧力計(MPa)1.6最大流量(m3/h)O2，N2，Ar，Air:55 H2.He:110(P2=0.6MPa)
