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XGTP312-50336-1F XGTP - 300mmウエバ対応平行シール型スリットバルブ SMC 69273269

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XGTP - 300mmウエバ対応平行シール型スリットバルブ

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内容量1個材質(シール)FKM 仕様ゲート部シール材質:(1) FKM、オートスイッチおよびコネクタ:(F) D-A93、Dサブコネクタ付、適用温度範囲: 20℃ ～ 60℃ 注文コード69273269 品番XGTP312-50336-1F

参考基準価格(税別)￥821,650 販売価格(税込) ￥813,780

販売価格(税別)

￥739,800

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長寿命：300万回(常温時)
発塵量：1/5以下に低減(従来品比)
メンテナンス性向上
容易なベローズ交換
トップアクセスからのゲート交換が可能(オーダーメイド)
安全対策
メカ式エンドロック機構採用

材質(シール)FKM バルブ形式(2) カセット式 (標準ボデイ) オートスイッチ種類オートスイッチ:D-A93；コネクタ種類:Dサブコネクタ；適用温度範囲:20℃～60℃ エンドロック(-) OPEN/CLOSE エンドロック仕様ゲート部シール材質:(1) FKM、オートスイッチおよびコネクタ:(F) D-A93、Dサブコネクタ付、適用温度範囲: 20℃ ～ 60℃ 適合ウェハー寸法(Φmm)300mmウエハ対応開口窓寸法(mm)50X336 軸数とシール形式1軸ベローズ

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