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XGTP - 300mmウエバ対応平行シール型スリットバルブ

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内容量1個 材質(シール)Kalrez4079 仕様ゲート部シール材質:(2) Kalrze 4079、オートスイッチおよびコネクタ:(A) D-A93、コネクタなし、リード線:0.5m、適用温度範囲: 20℃ 〜 60℃ 注文コード69273314 品番XGTP312-50336-2AN
参考基準価格(税別)¥923,010 販売価格(税込) ¥912,780
販売価格(税別)
829,800
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長寿命:300万回(常温時)
発塵量:1/5以下に低減(従来品比)
メンテナンス性向上
容易なベローズ交換
トップアクセスからのゲート交換が可能(オーダーメイド)
安全対策
メカ式エンドロック機構採用

材質(シール)Kalrez4079 バルブ形式(2) カセット式 (標準ボデイ) オートスイッチ種類オートスイッチ:D-A93;コネクタ種類:なし;リード線:0.5m;適用温度範囲:20℃〜60℃ エンドロック(N) なし 仕様ゲート部シール材質:(2) Kalrze 4079、オートスイッチおよびコネクタ:(A) D-A93、コネクタなし、リード線:0.5m、適用温度範囲: 20℃ 〜 60℃ 適合ウェハー寸法(Φmm)300mmウエハ対応 開口窓寸法(mm)50X336 軸数とシール形式1軸ベローズ

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