材質本体：C3771B、ダイアフラム：NBR、弁材：PCTFE、その他：C3604B・SUS304、SUS316、PCTFE
質量(kg)2.9
最大流量(L/min)180(P2=0.99MPa)
使用温度(℃)ー10〜40(設計温度：ー10〜75)
接続入口：W22-14(山)袋ナット(P当り)、出口：M16×1.5(右)オネジ(Φ8ホース口付)
使用ガスHe
一次側圧力(MPa)25(最高使用圧力：15)
二次側圧力(MPa)1.6(最高使用圧力：0.99)、使用：0.2〜0.99
標準流量(L/min)150(P2=0.99MPa)
流れ方向右
フィルム厚さ(μm)40
