処理空気量(m3/min)(50/60Hz)1.06周囲温度(℃)2~60入口空気圧力(MPa)0.05~0.93入口空気温度(℃)5~80質量(kg)3清浄度ISO14644-1・クラス5(F.S.209D クラス100)エレメント型式FF-100-A材質(ろ材)グラスファイバー、ポリプロピレン交換目安エレメント:3000時間又は1年のいずれか早い方使用流体圧縮空気材質(ハウジング)SUS304 研磨仕上げ材質(Oリング)シリコンゴム配管口径Rc1/2圧力損失(MPa)0.005以下エレメント使用本数1