注意
※仕様に複数のバリエーションがございます。かならず型式をご確認のうえ、ご選定お願い致します。
【型式説明】
8500MC-(表示器)-(接続)-(流体)-(最大流量)-(シグナル)-(通信)-(校正温度)
流量単位：SCCM(Standard Cubic Centimeter per Minute) or SLM(Standard Liter per Minute)
【MODEL 8500MC SERIES 標準仕様】
センサ方式：熱式センサー
バルブ方式：比例ソレノイドバルブ(非通電時 閉)
制御範囲：2〜100%FS
応答性：2sec以内(within±2%FS)
流量精度：±1%FS
温度係数：±0.1%FS/℃(15〜35℃)
再現性：±0.5%FS
動作差圧範囲：FS≦5SLM(N2換算) 50〜300KPA(G)
FS＞5SLM(N2換算) 100〜300KPA(G)
動作可能圧力：500KPA(G)以下
耐圧：980KPA(G)
Heリークレート：1×10-8Pa・m
2/s以下
※透過ふくまず(長時間の透過によるリーク量(参考値)は、1×10-6Pa・m
2/s以下)
許容周囲温度：5〜45℃
許容周囲湿度：10〜90%RH(結露なきこと)
接ガス部材質：SUS316、SUS316L、磁性ステンレス、FKM
電気接続：Dsubハーフピッチ20ピン ヒロセDX10M-20S
電源定格：24VDC±10%(リップル5%) 消費電流300mA以下
本体重量：約1200g
※個人宅(戸建住宅・集合住宅)様への配送は行っておりません。
