- 用途
- クリーンエア供給用フィルタとして。イオナイザーへのクリーンエア供給用に。液晶基板など非接触搬送時のクリーンエア供給用に。吸着搬送、真空破壊時のエアクリーン化。
- 管接続口径
- (IN側)ワンタッチ継手 Φ12、(OUT側)ワンタッチ継手 Φ10
- 質量(g)
- 150
- 付属品
- 取付ねじ(M3 ×40)、平座金、ばね座金、各2個
- 使用圧力(MPa)
- -0.095~0.99
- 材質(ケース)
- 透明ポリアミド
- 使用流体
- 圧縮空気、窒素ガス(N2)
- 材質(ボディ)
- ポリアミド
- 耐圧力(MPa)
- 1.5
- 周囲温度および使用流体温度(℃)
- 5~45
- ろ過度(μm)
- 0.01(除去効率99.99%)
- 材質(エレメント)
- ポリプロピレン+ウレタン
- 特性
- (組立・検査・包装)クリーンルームにて一貫生産
- 耐差圧(MPa)
- 0.5
- 処理流量(L/min[ANR])
- 300~400
- 洗浄
- 脱脂洗浄