適合チューブ外径(Φmm)6寸法D(Φmm)12.8寸法L(mm)21.8寸法Q(mm)5.3寸法M(mm)18.5有効断面積(mm2)TPH:10、TPS:10質量(g)9清浄度(ISOクラス)クラス3使用流体空気、チッ素ガス、水、脱イオン水(純水)最高使用圧力(MPa)(20℃) 1使用真空圧力(kPa)-100(10Torr)保証耐圧力(MPa)(20℃) 3周囲温度および使用流体温度(℃)-20~80ねじJIS B0203(管用テーパねじ)適合チューブ材質PFA、ポリオレフィン、ソフトポリオレフィン、ポリウレタン