備考46〜51フクム
規格1.4セラミツク
部品名称ノズルクミタテ
図解NoSSA-α603-1 ノズル部品_No.41、SSA-α1004 ノズル部品_No.52、SSA-α1003-1 ノズル部品_No.52、SSA-F615M-2AD ノズル配列部品_No.22、SSA-S602DX(4) ノズル部品_No.27、SSA-α603 ノズル部品_No.41、SM-450A 薬液配管(2)部品_No.22、SSA-F616 ノズル(2002年9月〜生産分)部品_No.27、SSA-α1003 ノズル部品_No.52、SSA-S602DX ノズル部品_No.27、SM-140A 薬液配管(2)部品_No.22、SSA-S610VT -1 ノズル部品_No.45、SSA-F616(4) ノズル部品_No.27、SSA-F616(4)-1 ノズル部品_No.27
