・温度分布 小面積で高容量の発熱体をプレート面に均一に組み込んでいますので、温度分布が良好です。・常用400℃ 大気中で常用400℃以下(Max500℃)で使用でき、真空中でも条件により使用可能です。・温度調節 温度センサーをヒーター内部に組み込んでいますので、的確に温度調節ができます。・熱伝導性 プレート板は、高熱伝導性・高信頼性の窒化アルミを採用しています。
