3軸方向の微調整用精密ステージです。θ軸(回転)ステージを最上部に配置しているため、XY軸ステージにて心出し(例えば顕微鏡の目盛板との心出し調整)調整後、同心上でサンプルなどを回転させることができます。θ軸(回転)ステージを最下部に配置しているため、サンプルなどを。XY軸ステージにて調整(回転ステージの中心より外す)後、同心円上で回転させることができます。
