仕様●Surface orientation error：(11-20)4±0.15°●ドーパント：n-type●1次オリフラ：[1-100]±5°●TTV：≦5μm●Bow：-15～15μm●Warp：≦20μm●マイクロパイプ：≦1ea/cm2●ブラックレーザーマーキング：1mm(from top edge)●BPD：≦2000ea/cm2●TSD：≦500ea/cm2長さ(mm)【1次オリフラ】32.5±1.5、【2次オリフラ】18±1.5直径(Φmm)99.5～100タイプ4H入数(枚)5グレードProduction厚さ(μm)350±25アズワン品番67-3018-26表面粗さ(μm)(Si-face)Ra≦0.0002(5μm×5μm)表面仕上げSi面 CMP Si-faceCMP抵抗値(Ω)0.015～0.025
