仕様●グレード：Production●タイプ：4H●Surface orientation error：＜11-20＞4±0.15°●ドーパント：n-type●抵抗率：0.015～0.025Ω●直径：99.5～100mm●厚み：350±25μm●1次オリフラ：[1-100]±5°●1次オリフラ長さ：32.5±1.5mm●2次オリフラ：18±1.5mm●TTV：≦5μm●Bow：-15～15μm●Warp：≦20μm●表面仕上げ：Si面 CMP Si-faceCMP●表面粗さ(Si-face)：Ra≦0.2nm(5μm×5μm)●マイクロパイプ：≦1ea/cm2●BPD：≦2000ea/cm2●TSD：≦500ea/cm2●ブラックレーザーマーキング：1mm(from top edge)●数量：1箱(3枚入)※1枚につき1ケース●※本製品は半導体向けの結晶材を使用し製造加工しておりますが、材料純度に関する証明等に対応できるものではありません。
アズワン品番67-3018-25
