- 仕様
- ●Surface orientation error：(11-20)4±0.15°●ドーパント：n-type●1次オリフラ：[1-100]±5°●TTV：≦5μm●Bow：-15～15μm●Warp：≦20μm●マイクロパイプ：≦1ea/cm2●ブラックレーザーマーキング：1mm(from top edge)●BPD：≦2000ea/cm2●TSD：≦500ea/cm2
- 長さ(mm)
- 【1次オリフラ】32.5±1.5、【2次オリフラ】18±1.5
- 直径(Φmm)
- 99.5～100
- タイプ
- 4H
- 入数(枚)
- 3
- グレード
- Production
- 厚さ(μm)
- 350±25
- アズワン品番
- 67-3018-25
- 表面粗さ(μm)
- (Si-face)Ra≦0.0002(5μm×5μm)
- 表面仕上げ
- Si面 CMP Si-faceCMP
- 抵抗値(Ω)
- 0.015～0.025
