ストローク(Z距離)(mm)±100種類Zステージテーブル長さ(mm)200テーブル幅(mm)200耐荷重(N)78.4送り方式送りねじ移動ガイドボールウェイ質量(kg)17表面処理(テーブル)白アルマイト梨地繰返し精度(mm)±0.002センサー原点センサ/ノーマルオープン接点(メイク接点、A接点)動作、フォトセンサ(bar)原点前・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ分解能0.004mm適合ケーブルACB-STD2、ACB-STD3RoHS指令(10物質対応)対応移動方向Z軸1方向移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.01、ヨーイング30sec、ピッチング50secモーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性：0.03、ピッチ剛性：0.5、ロール剛性：0.4使用モータPK545NAW相当 電磁ブレーキ付(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)送りねじリード(mm)2位置決め精度(mm)0.02ロストモーション(mm)0.002最高速度(mm/s)20(5000pps時)材質(テーブル)アルミ合金
