ストローク(Z距離)(mm)±100
種類Zステージ
テーブル長さ(mm)200
テーブル幅(mm)200
耐荷重(N)78.4
送り方式送りねじ
移動ガイドボールウェイ
質量(kg)17
表面処理(テーブル)白アルマイト梨地
繰返し精度(mm)±0.002
センサー原点センサ/ノーマルオープン接点(メイク接点、A接点)動作、フォトセンサ(bar)原点前・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
分解能0.004mm
適合ケーブルACB-STD2、ACB-STD3
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向Z軸1方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.01、ヨーイング30sec、ピッチング50sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性：0.03、ピッチ剛性：0.5、ロール剛性：0.4
使用モータPK545NAW相当 電磁ブレーキ付(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)
送りねじリード(mm)2
位置決め精度(mm)0.02
ロストモーション(mm)0.002
最高速度(mm/s)20(5000pps時)
材質(テーブル)アルミ合金
