種類回転ステージ耐荷重(N)19.6移動ガイドボールベアリング仕様(心振れ)0.02mm質量(kg)0.18表面処理(テーブル)黒アルマイト梨地センサー原点センサ/ノーマルオープン接点(メイク接点、A接点)動作、ホールIC分解能0.015°平行度(mm)0.075適合ケーブルACB-STS2RoHS指令(10物質対応)対応ステージ寸法(mm)Φ30移動方向回転方向面振れ(mm)0.06使用モータPK513PB相当(5線式ペンタゴン結線、0.35A/相)移動量(°)360位置決め精度(°)0.18ロストモーション(°)0.02最高速度(°/s)75(5000pps時)繰返し精度(°)±0.003材質(テーブル)アルミ合金
