- XY直交度(mm)
- 0.01
- ストローク(X距離)(mm)
- ±3
- ストローク(Y距離)(mm)
- ±3
- 種類
- xyステージ
- テーブル長さ(mm)
- 40
- テーブル幅(mm)
- 40
- 耐荷重(N)
- 95.2
- 送り方式
- MHS4-6.5FP(ファインピッチマイクロ)
- 移動ガイド
- HG-VCR(V溝とクロスローラ)
- 感度
- 0.001mm
- 質量(kg)
- 0.4
- クランプ
- 板クランプ
- 平行度(mm)
- 0.030、運動の平行度：0.014
- 目量
- マイクロメータ式0.002mm
- 材質/処理
- (テーブル)ステンレス/黒色酸化クロム
- RoHS指令(10物質対応)
- 対応
- 操作位置
- サイド
- 移動方向
- XY軸2方向
- 移動精度(mm)
- 真直度(水平・垂直)0.001ヨーイング15sec、ピッチング25sec
- モーメント剛性(sec/N・cm)
- ヨー剛性 0.08、ピッチ剛性 0.06、ロール剛性 0.06
- 許容モーメント荷重(N・cm)
- ヨー：500、ピッチ：500、ロール：500
- 移動量
- (ツマミ1回転)0.1mm
