XY直交度(mm)0.01ストローク(X距離)(mm)±3ストローク(Y距離)(mm)±3種類xyステージテーブル長さ(mm)70テーブル幅(mm)70耐荷重(N)78.4送り方式MHS4-6.5FP(ファインピッチマイクロ)移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)感度0.001mm質量(kg)0.5クランプ板クランプ平行度(mm)0.050、運動の平行度：0.020目量マイクロメータ式0.002mm材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地RoHS指令(10物質対応)対応操作位置センター移動方向XY軸2方向移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.002ヨーイング20sec、ピッチング30secモーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性：0.06、ピッチ剛性：0.20、ロール剛性：0.20移動量(ツマミ1回転)0.1mm
