ストローク(X距離)(mm)±3種類Xステージテーブル長さ(mm)40テーブル幅(mm)40耐荷重(N)39.2送り方式MHS4-6.5FP(ファインピッチマイクロ)移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)感度0.001mm操作位置センター移動量(ツマミ1回転)0.1mm質量(kg)0.13クランプ板クランプ平行度(mm)0.030、運動の平行度：0.010目量マイクロメータ式0.002mm材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地RoHS指令(10物質対応)対応移動方向X軸1方向移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.002、ヨーイング20sec、ピッチング30secモーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性：0.20、ピッチ剛性：0.50、ロール剛性：0.50
