ストローク(Z距離)(mm)±3種類Zステージテーブル長さ(mm)70テーブル幅(mm)70耐荷重(N)49送り方式MHS4-6.5FP(ファインピッチマイクロ)移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)質量(kg)0.85感度0.001mmクランプ操作側板クランプ目量マイクロメータ式0.002mm材質/処理(テーブル)ステンレス/黒色酸化クロム、(Zブラケット)アルミ合金/黒アルマイト梨地RoHS指令(10物質対応)対応操作位置サイド移動方向Z軸1方向移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.001、ヨーイング15sec、ピッチング25secモーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性 0.04、ピッチ剛性 0.04、ロール剛性 0.02許容モーメント荷重(N・cm)ヨー：1500、ピッチ：1500、ロール：1500垂直度(mm)0.065、運動の垂直度：0.025移動量(ツマミ1回転)0.1mm
