用途、半導体、電子、医療、バイオテクノロジー及び、製薬業界仕様【Heリークレート】1.0×10-10Pa・m3/sec以下、【組立/調整・校正】クリーンルームクラス10000・クリーンルームクラス100、Heリーク検査(真空吹き付け法)、【処理】禁油禁水その他【組立/調整・校正】クリーンルーム クラス10,000 / クリーンルーム クラス100材質ブルドン管・接ガス部:SUS316L / ケース:SUS304 / カバー:ポリカーボネイト / ダイアル:アルミニウム備考Heリーク検査(真空吹き付け法)シリーズHPG2 : 高純度ガス用圧力計(SUS316L BAグレード)精度±1.0%F.S接続ねじメタルフェイスシール継手 回転式(おす)Male MFS包装ポリエチレン材 真空2重梱包使用圧力安定した圧力の場合フルスケールの75% / 変動する圧力の場合フルスケールの67%ケース外径(Φmm)63使用環境温度(℃)-40~+65流体温度(℃)最大+100接続形状メタルフェイスシール継手 回転式(おす)Male MFS処理方法禁油禁水洗浄度ASME B40.100の洗浄度レベル4リークレート(Pa・m3/sec)~1.0×10-10洗浄超音波洗浄