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トラニオン型ボールバルブ。最高使用圧力：41.3MPa / 68.9MPa。コンパクトで大流量に対応する設計。低トルクで操作可能。フローパターン：2方タイプ(VUBV)、3方タイプ(VUBVT)。パネル取付可能。ハンドル・堅牢で操作性に優れたハンドル・方向を表示・カラーハンドル対応可。ボトムロード式ステム・ステムのブローアウト防止・システムの安全性向上。トラニオン型ボール・ボールのブローアウト防止・低い操作トルクを実現。スプリングロード式シート・低圧、高圧の何れの場合にも安定したシール性能・低い操作トルクを実現・圧力サージ(急激な圧力上昇)によるシートの摩擦を低減。使用流体・エアー、窒素、ヘリウム等の不活性ガス並びにバルブの接液部品を腐食させないガス及び液体。高圧ガス大臣認定品も対応可能です。(VUBV-941シリーズ)・ただし、温度・圧力線図がカタログ掲載のものとは異なりますので、お問合せ下さい。※フジキン製ボールバルブは、全開或いは全閉状態で使用するように設計しています。※長時間使用していないバルブを最初に操作する際は、より大きな操作トルクが必要になることがあります。

マイクロメーター式ハンドル付微量流量調整用バルブ。最高使用圧力：4.82MPa。微量流量調節型ディスク。マイクロメーター式ハンドルにより、繰り返し正確な微量流量設定が可能。精密な成形メタルベローズによるシール構造で外部シール性能が高い。6回転のハンドル操作でバルブが全開。スロット付ハンドルトップにより、マイナスドライバーによる調節可能。ボディとベローズの間をステンレス鋼製ガスケットによりシール。パネル取り付けまたはボディ底部取付けが可能。接続形式：V-Lokタイプ。外部リーク・加圧試験に加えて、ヘリウムリーク試験を実施。・漏洩量が4.0×10 ┣sup┫-10┣/sup┫・3┣sup┫3┣/sup┫/sec以下(真空法)であることを確認しています。(検査時)。全閉時流量・全閉時、0.068MPaの窒素ガスで10～15m┣sup┫3┣/sup┫/min(normal)が流れるように設定をしています。(出荷時)

精密な成形メタルベローズによるシール構造で外部シール性能が高い。ボディとベローズの間をステンレス鋼製ガスケットによりシール。無回転のディスク構造で繰り返し確実な締め切りが可能。メタルシールタイプ、ソフトシールタイプの2種類を用意。パネル取り付けまたはボディ底部取付けが可能。接続形式：V-Lokタイプ。 。外部リーク、弁座リーク・加圧試験に加えて、ヘリウムリーク試験を実施。・漏洩量が4.0×10 -10・33/sec以下(真空法)であることを確認しています。(検査時)

ベローズバルブ (丸ハンドル)・ベローズバルブは、各種半導体製造装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けのディスクストップバルブです。・金属製ベローズの採用により高気密性、高耐久性、コンパクト、高洗浄性、パージ特性を達成した業界No.1のベローズバルブです。ステンレス鋼製・1MPa。洗浄・パージ効果の優れたベローズ形状です。メタルガスケットシールにより、外部リークがありません。接続タイプが豊富に揃っています。ディスク材質として、標準でPCTFEを採用しています。・PI・PAもオプション設定しています。オプションでUP処理も可能です。

ニードルベローズバルブ・ニードルベローズバルブは、各種半導体製造装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けの流量調整用バルブです。・金属製ベローズの採用により高気密性、高耐久性、コンパクト、高洗浄性、パージ特性を達成した業界No.1のベローズバルブです。ステンレス鋼製・0.98MPa

スイッチベローズ (90度開閉スイッチ式)・スイッチベロウズバルブ(90度開閉スイッチ式)は、各種半導体装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けのディスクストップバルブです。・金属製ベローズの採用により高気密性、高耐久性、コンパクト、高洗浄性、パージ特性を達成した業界No.1のベローズバルブです。ステンレス鋼製・1MPa。開閉状態が一目で確認出来ます。90度回転のワンタッチ操作で全開・全閉が出来ます。スプリングにより閉止トルクが一定しているため、完全なシールとシート寿命が向上します。洗浄・パージ効果の優れたベローズ形状です。メタルガスケットシールにより、外部リークがありません。接続タイプが豊富に揃っています。ディスク材質として、標準でPCTFEを採用しています。・HT・PI・PAもオプション設定しています。オプションでUP処理も可能です。

プラグバルブ。最高使用圧力：20.6MPa。シンプルでコンパクトな設計。 低トルクで操作可能。1/4回転で全開、全閉操作。使用流体・エアー、窒素、ヘリウム等の不活性ガス並びにバルブの接液部品を腐食させないガス及び液体。※流体を二次側から一次側に流す場合の最大差圧は1.03 MPaです。※二次側から一次側へ流している状態で流量を絞ると、Oリングに損傷を与える恐れがあります。

ステンレス鋼製、16.2 MPa。接ガス部完全禁油処理品です。小型で軽量タイプです。高圧ガス大臣認定品も可能です。

ステンレス鋼製、16.2 MPa。接ガス部完全禁油処理品です。小型で軽量タイプです。高圧ガス大臣認定品も可能です。

ステンレス鋼製、16.2 MPa。接ガス部完全禁油処理品です。小型で軽量タイプです。高圧ガス大臣認定品も可能です。クラッキング特性が優れています。

MEGA-ONE HM・高圧タイプ マニュアルオペレーションバルブ・MEGA-ONE HMは各種半導体装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けのマニュアルオペレーションダイヤフラムバルブです。・ダイレクトダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト性、パーティクルフリー、デッドスペースフリーを達成した業界スタンダードのバルブです。高圧ガス大臣認定品としても対応可能です。バルブの開閉状態が一目で確認できます。高耐久性ニッケルーコバルト合金製ダイヤフラム。良好な置換特性(UJR MALE TYPEで全内容積 1.39cc)。シート材質として、標準でPCTFEを採用しています。・PIもオプション設定されています。接ガス部はすべて標準でEP処理されています。・オプションでUP処理も可能です。

MEGA-ONE HQ・MEGA-ONE HQは各種半導体装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けの90°開閉ダイヤフラムバルブです。・ダイレクトダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト性、パーティクルフリー、デッドスペースフリーを達成した業界スタンダードのバルブです。高圧ガス大臣認定品としても対応可能です。バルブの開閉状態が一目で確認できます。高耐久性ニッケルーコバルト合金製ダイヤフラム。良好な置換特性(UJR MALE TYPEで全内容積 1.39cc)。シート材質として、標準でPCTFEを採用しています。・PIもオプション設定されています。接ガス部はすべて標準でEP処理されています。・オプションでUP処理も可能です。

NEW MEGA-ONE LS・新タイプ・低圧マニュアルオペレーションバルブ(スイッチタイプ)・NEW MEGA-ONE LSは、各種半導体製造装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けの90度開閉ダイヤフラムバルブです。・スプリングの力により安定したシール性能が維持できます。・ダイレクトダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト、パーティクルフリー、デッドスペースフリーを達成した業界スタンダードのバルブです。・新ハンドルの採用によりヒューマンインターフェースを向上させたバルブです。開閉表示付きハンドルは非常に視認性に優れています。非常に操作しやすいハンドル形状です。優れた耐久性：2万回以上。バルブの開閉状態が一目で確認できます。・正確な開閉状態を示す表示機構・流れ方向を示す誤操作防止機構。パネルマウント対応。良好な置換特性(UJR 6.35 MALE TYPEで全内容積 1.48 cc)。高耐久性ニッケル-コバルト合金製ダイヤフラム。オプションでハンドル色の変更も可能です。シート材質は、標準でPCTFEを採用しています・PI・PAもオプション設定しています。接ガス部はすべて標準でEP処理を行っています。・オプションでUP処理も可能です。

NEW MEGA-ONE LS・新タイプ・低圧マニュアルオペレーションバルブ(スイッチタイプ)・NEW MEGA-ONE LSは、各種半導体製造装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けの90度開閉ダイヤフラムバルブです。・スプリングの力により安定したシール性能が維持できます。・ダイレクトダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト、パーティクルフリー、デッドスペースフリーを達成した業界スタンダードのバルブです。・新ハンドルの採用によりヒューマンインターフェースを向上させたバルブです。開閉表示付きハンドルは非常に視認性に優れています。非常に操作しやすいハンドル形状です。優れた耐久性：2万回以上。バルブの開閉状態が一目で確認できます。・正確な開閉状態を示す表示機構・流れ方向を示す誤操作防止機構。パネルマウント対応。良好な置換特性(UJR 6.35 MALE TYPEで全内容積 1.48 cc)。高耐久性ニッケル-コバルト合金製ダイヤフラム。オプションでハンドル色の変更も可能です。シート材質は、標準でPCTFEを採用しています・PI・PAもオプション設定しています。接ガス部はすべて標準でEP処理を行っています。・オプションでUP処理も可能です。

メタルダイヤフラムバルブ・メタルダイヤフラムバルブは、各種半導体製造装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けのディスクストップバルブです。・メタルダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト性を達成したバルブです。・高圧ガス大臣認定品としても対応が可能です。ステンレス鋼製・16.2MPa。開閉状態が一目で確認出来ます。開閉位置表示付きハンドルです。過剰締付防止機構付きです。メタルダイヤフラムシールにより、外部リークがありません。接続タイプが豊富に揃っています。ディスク材質として、標準でPCTFEを採用しています。・PIもオプション設定しています。オプションでUP処理も可能です。

MEGA-ONE LM・低圧タイプ・マニュアルオペレーションバルブ・MEGA-ONE LMは、各種半導体装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けのマニュアルオペレ-ションダイヤフラムバルブです。・ダイレクトダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト性、パーティクルフリー、デッドスペースフリーを達成した業界スタンダードのバルブです。バルブの開閉状態が一目で確認できる開閉表示つきです。高耐久性ニッケルーコバルト合金製ダイヤフラム。良好な置換特性(UJR MALE TYPEで全内容積 1.48cc)。オプションでハンドル色の変更も可能です.。シート材質として、標準でPCTFEを採用しています。・PI・PAもオプション設定されています。接ガス部はすべて標準でEP処理されています。・オプションでUP処理も可能です。

NEW MEGA-MINI HM・新タイプ・高圧コンパクトマニュアルバルブ・NEW MEGA-MINI HMは、各種半導体製造装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けのマニュアルオペレーションダイヤフラムバルブです。・ダイレクトダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト、パーティクルフリー、デッドスペースフリーを達成した業界スタンダードのバルブです。優れた耐久性2万回以上。高圧ガス大臣認定品の対応が可能です。バルブの開閉状態が一目で確認できます。高耐久性ニッケルーコバルト合金製ダイヤフラム。良好な置換特性(UJR MALE TYPEで全内容積 0.92 cc)。シート材質は、標準でPCTFEを採用しています。・PIもオプション設定しています。接ガス部はすべて標準でUP処理を行っています。

【高性能超小型ガスケット継手 UPG継手の特長】。高性能超小型ガスケット継手UPGは、精密継手メーカーとして、長年の経験によって蓄積した、設計ノウハウと生産技術を駆使して量産された優れた性能・品質を有するチューブ継手です。従来広くご愛顧頂いておりますガスケット継手UJRをデットスペースの極小化、従来比70%の小型に改良し、さらにシール性能を大幅に向上させた信頼性の高い究極の超小型継手としております。超小型ガスケット継手UPGは従来のUJRと同様な継手であり、基本的な構成部品はステンレス鋼製のボディ、スリーブ、ユニオンナット、ガスケットの4点です。

信頼性の高いメタルガスケット構造で高純度ガス、真空配管に豊富な実績

コンパクト構造

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